石英砣与刻蚀环
从高纯材料，
到精密组件。
从高纯石英砣到半导体刻蚀环，分别满足坯料采购与精密组件需求。
材料形态
石英砣规格
- 材料组成
- 熔融石英（SiO₂）
- 直径
- 按图定制
- 制备工艺
- 气炼法
- 供货形态
- 实心石英砣／锭；长度按双方确认的图纸确定。
- 加工用途
- 坯料切割、刻蚀环加工及其他石英组件制造。
成品尺寸
刻蚀环规格
- 材料基础
- 由选定牌号的石英砣加工
- 外径
- 100–600 mm
- 应用领域
- 半导体刻蚀设备
- 图纸要求
- 内径、厚度、台阶及沟槽结构按组件图纸确定。
- 检验要求
- 按零件要求约定尺寸、平面度、同心度及表面光洁度。
材料性能参数
同源石英材料，
一致性能基础。
同一牌号的石英砣及由其加工的刻蚀环采用相同的材料参考数据；成品尺寸、加工公差和使用性能需另行评估。
力学性能
| 密度 | 2.2 × 10³ kg/m³ |
|---|---|
| 莫氏硬度 | 6–7 |
| 泊松比 | 0.17 |
| 抗拉强度 | 4.9 × 10⁷ Pa |
| 抗压强度 | >1.1 × 10⁹ Pa |
| 抗弯强度 | 65–95 MPa |
| 抗扭强度 | 30 MPa |
热学性能
| 热膨胀系数 · 20–300°C | (5.2–5.8) × 10⁻⁷ K⁻¹ |
|---|---|
| 比热容 · 20°C | 749 J/(kg·K) |
| 导热系数 · 20°C | 1.38 W/(m·K) |
| 应变点 | 1,070°C |
| 软化点 | 1,670°C |
| 退火点 | 1,150°C |
电学性能
| 介电常数 · 10 GHz | 3.74 |
|---|---|
| 介电损耗 · 500 MHz | <1 × 10⁻³ |
| 电阻率 · 20°C | 1 × 10¹⁶ Ω·m |
参数依据最新材料资料列示，为典型参考值；选材、批次验收及成品要求分别确认。
典型杂质含量 ppm
| 元素／组别 | 典型数据 A | 典型数据 B | 典型数据 C |
|---|---|---|---|
| Al | 0.1 | 8 | 18 |
| Li | 0.4 | 0.5 | 0.6 |
| B | 0.1 | 0.1 | 0.3 |
| Na | 0.09 | 0.6 | 1.5 |
| Mg | 0.01 | 0.1 | 0.3 |
| K | 0.03 | 0.5 | 0.5 |
| Ca | 0.45 | 0.6 | 0.8 |
| Ti | 0.08 | 0.1 | 2.0 |
| Fe | 0.2 | 0.35 | 0.6 |
| Co | 0 | 0 | 0.05 |
| Ni | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Mn | 0.03 | 0.05 | 0.2 |
| Cu | 0.01 | 0.5 | 0.8 |
| OH | 10 | 15 | 15 |
每列保留一组完整数据，OH与金属杂质分别列示。表中0按资料原值保留，不代表绝对不含该元素；检出限及供货指标需进一步确认。
从砣到环
同源材料，
精密加工。
- 01
选择坯料
根据刻蚀环图纸，匹配材料牌号与坯料尺寸。
- 02
切割与机加工
制备环形坯料，再加工内外轮廓及所需台阶。
- 03
精整与检验
检查约定尺寸、表面状态及组件技术要求。
- 石英刻蚀环
- 石英盖环
- 石英窗
- 上部边缘环
- 下部边缘环
- 石英气体喷嘴
- 石英防护罩
- 石英闸门
刻蚀用石英组件。
涵盖石英环、窗、气体喷嘴、防护罩和闸门。组件形状及表面要求可按图纸定制。
更多石英制品
更多组件，按图定制。
从石英砣，到您的成品刻蚀环。
请提供材料要求与组件图纸。