Zhejiang Jingui Technology · 先端材料
目に見えない
純度まで、
技術で磨く。
石英砂、シリカ粉末、工程エンジニアリングを、半導体、太陽光発電、光学、電子産業の製造要件につなげます。
一貫した石英バリューチェーン
自社の鉱物資源から、検証済みの石英材料へ。
原料産地に関する知識、精製の経験、分析による検証を生産全体でつなぎ、すべての設備選定に明確な材料目標を持たせます。
石英エッチング用リングJINGUIの製造技術 · 半導体用石英
石英から、
精密リングへ。
石英エッチング用リングの製造に対応しています。 自社製の石英インゴットを加工し、寸法、形状、表面の要件をお客様の図面に合わせます。
エッチング用リングとは？
半導体のプラズマエッチング装置に使用する環状部品です。装置と工程の設計に応じて、絶縁、区画の分離、チャンバーの保護などの役割を担います。
- 自社製の石英インゴット
- 図面に基づく製作
- 寸法のカスタマイズ
材料・技術対応範囲
材料、測定、生産をつなぐ6つの分野。
高純度石英・シリカ材料から、石英部品、分析サービス、生産ライン全体の設計へ。
結晶質・溶融の2つの製造経路
高純度石英砂
結晶質石英砂は最高6N、溶融石英砂は最高5N8に対応。用途に合わせて不純物と粒度を管理します。
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高純度 / 球状 / プラズマ・ナノ
シリカ粉末
性能を左右する材料特性に応じて分類した、高純度、球状、プラズマ製法によるナノシリカ。
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石英インゴット / エッチング用リング
石英部品
共通の材料データと図面加工に基づく、石英インゴット・半導体用石英エッチングリング。
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工程設計
生産ライン・エンジニアリング
石英砂生産ライン、石英インゴット溶融炉、工程設備、技術改良。
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ミラブル型HCR / 液状LSR
シリコーン
乾式シリカを配合したミラブル型（HCR）・液状（LSR）シリコーンゴム。工程と完成部品の要件に合わせて選定します。
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微量元素13項目
分析・試験
微量元素、粒度分布、ふるい分け、試料評価に対応する鉱物・石英の有償分析サービス。
分析サービスを見る →2つの石英製造経路
異なる構造、
異なる特性。
必要な材料構造、熱的挙動、加工条件に応じて、結晶質または溶融石英砂をお選びください。
シリカ粉末の製品群
3つの製品群を、
お客様の工程に。
各製品群を目標純度、粒子構造、用途上の役割に基づいて整理し、対応する製品情報へ直接アクセスできます。
- 石英エッチング用リング
- 石英カバーリング
- 石英窓
- 上部エッジリング
- 下部エッジリング
- 石英ノズル
- 石英シールド
- 石英シャッター
半導体製造用の石英
石英母材から、
精密リングへ。
半導体製造のエッチング工程向けに、自社の石英母材からリングを加工します。材料、形状、表面要件をお客様の図面に合わせます。
- 外径
- 100–600 mm
- 精密加工
- お客様の図面に対応
石英バリューチェーン / 01—04
原料の特性を理解し、用途に適した製品へ。
石英鉱物から完成部品まで。
石英資源、分析評価、石英砂生産、部品製造を1つの材料製造経路でつないでいます。
- 01石英鉱物
鉱物構造と不純物リスクを評価。
- 02分析・試験
元素、粒度、工程適合性を確認。
- 03石英砂
必要なグレードに向けて精製・粒度管理。
- 04石英部品
素材の純度を精密石英製品へ。
ニュース・技術情報
技術について相談する
工程に必要な石英の条件をお知らせください。
用途、目標組成、粒度範囲、想定数量をお知らせください。担当チームから次の具体的なステップをご案内します。
要件について相談する →